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Entwicklung, Bau und Inbetriebnahme einer Klebeautomation mit Dosiermanagementsystem
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Diese Montagezelle vereint hohe Präzision, Taktzeit und Produktvielfalt in einem. Die daraus resultierende Qualität erreichen wir durch das ausgeklügelte Zusammenspiel von Bildverarbeitung und Robotermontage.
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Diese vollautomatisierte Roboterzelle garantiert hohe Stückzahlen bei gleichbleibender Qualität und vereint mehrere Prozessschritte wie Kleben, Fügen, UV-Härten und Prüfen in einer Einheit.
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Das Zinn-Zirkulations-System (Tin Handling Box) ist ein Kernmodul einer zinnbasierten LDP-Quelle (siehe hierzu auch die anderen Projekte zu EUV-LDP-Quellen). Vor dem ersten Einsatz eines solch komplexen Moduls oder nach einer Generalüberholung muss es in allen Betriebsphasen vom Aufheizen über den Betrieb bis hin zum Wiederabkühlen getestet werden. Wir haben einen solchen Prüfstand komplett konzipiert und bereits mehrfach gebaut.
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Um eine EUV-LDP-Quelle zu betreiben, müssen Medien und Prozesse in Echtzeit geregelt und gesteuert werden. Um die dafür eingesetzte Hard- und Software zu evaluieren, ist ein Simulator sehr hilfreich, spart aber auch enorme Kosten, da die realen Maschinen nicht belegt werden müssen. Für unseren Kunden haben wir solch einen EUV-LDP-SOURCE-Simulator entwickelt.