Montieren
Auf einer Monatgefläche von gut 300 m² können wir von kleinsten Baugruppen bis zu kompletten Produktionslinien alle benötigten Formate herstellen.
Die Einheiten werden von uns sowohl mechanisch, elektrisch als auch pneumatisch aufgebaut und anschließend getestet und inbetriebgenommen.
Elektro
Nach CE, SEMI oder UL Normen.
Von Kabelbäumen bis Schaltschränken
Mechanik
Bauteilgröße: mm .. x m
Handlebares Gewicht (Kran): 0 t .. 4,5 t
Genauigkeiten: 50 µm .. x m
Service
Wartung
Instandhaltung
Telefon/Remote Support
Onsite Support
Das für das Projekt verwendete Mikrolinsenarray ist ein Array mit einer Fläche von 2,8 mm² und 280 Linsen. Wir entwarfen die elektrische Hardwarearchitektur, programmierten die Software und führten die elektrische Installation zur Positionierung und Verklebung des Mikrolinsenarrays mit einer mehrachsigen Steuereinheit und optischer Bildverarbeitung in 6 Freiheitsgraden mit 100 nm Genauigkeit durch.
Um eine EUV-LDP-Quelle zu betreiben, muss ein Zinnplasma in einer Hochvakuumumgebung unter Verwendung von Hochspannung erzeugt und gesteuert werden. Gemeinsam mit unserem Kunden haben wir die gesamte Umgebung einer solchen EUV-Quelle entwickelt, gebaut und programmiert.
Das Zinn-Zirkulations-System (Tin Handling Box) ist ein Kernmodul einer zinnbasierten LDP-Quelle (siehe hierzu auch die anderen Projekte zu EUV-LDP-Quellen). Vor dem ersten Einsatz eines solch komplexen Moduls oder nach einer Generalüberholung muss es in allen Betriebsphasen vom Aufheizen über den Betrieb bis hin zum Wiederabkühlen getestet werden. Wir haben einen solchen Prüfstand komplett konzipiert und bereits mehrfach gebaut.