Konstruieren
Unser Kernwissen besteht in der kundenspezifischen Auslegung, Planung und Projektierung von Prototypen und Anlagen.
Auf elektrischer/pneumatischer Seite arbeiten wir verstärkt mit dem Tool E-Plan, und dies unter Einhaltung aller Kundenvorgaben und Normen.
In der M-Konstruktion greifen wir auf das Tool Autodesk Inventor zurück, wo wir von kleinsten Bauteilen bis hin zu großen Anlagen ein breites Spektrum abdecken können.
Detail Engineering
E-Plan P8, Autodesk Inventor
E-Plan P8, Autodesk Inventor
Konstruktion
Nach CE (EN), NFPA (UL) und SEMI
Nach CE (EN), NFPA (UL) und SEMI
Rapid Prototyping
3D Printing
Inbetriebnahmen
Wenn gewünscht mit TPS (Test Prozedur Spezifikation) and TAR (Test Akzeptanz Report)
Wenn gewünscht mit TPS (Test Prozedur Spezifikation) and TAR (Test Akzeptanz Report)
Elektronik: 3,2 V .. 10 kV
Kühlung: 100 W .. 25 kW
Vakuum: 10 .. 0,001 Pascal
Positioniergenauigkeit: 50 µm ... 10 m
Das für das Projekt verwendete Mikrolinsenarray ist ein Array mit einer Fläche von 2,8 mm² und 280 Linsen. Wir entwarfen die elektrische Hardwarearchitektur, programmierten die Software und führten die elektrische Installation zur Positionierung und Verklebung des Mikrolinsenarrays mit einer mehrachsigen Steuereinheit und optischer Bildverarbeitung in 6 Freiheitsgraden mit 100 nm Genauigkeit durch.
Um eine EUV-LDP-Quelle zu betreiben, muss ein Zinnplasma in einer Hochvakuumumgebung unter Verwendung von Hochspannung erzeugt und gesteuert werden. Gemeinsam mit unserem Kunden haben wir die gesamte Umgebung einer solchen EUV-Quelle entwickelt, gebaut und programmiert.
Das Zinn-Zirkulations-System (Tin Handling Box) ist ein Kernmodul einer zinnbasierten LDP-Quelle (siehe hierzu auch die anderen Projekte zu EUV-LDP-Quellen). Vor dem ersten Einsatz eines solch komplexen Moduls oder nach einer Generalüberholung muss es in allen Betriebsphasen vom Aufheizen über den Betrieb bis hin zum Wiederabkühlen getestet werden. Wir haben einen solchen Prüfstand komplett konzipiert und bereits mehrfach gebaut.
Bis zu 15000 Mal pro Sekunde muss zwischen zwei Elektroden durch resonantes Laden eine definierte Spannung erzeugt und durch Triggerlaser wieder entladen werden. Wir haben ein solches System von Grund auf neu entwickelt und eine bisher nicht gekannte Wiederholgenauigkeit erreicht.