Um eine EUV-LDP-Quelle zu betreiben, müssen Medien und Prozesse in Echtzeit geregelt und gesteuert werden. Um die dafür eingesetzte Hard- und Software zu evaluieren, ist ein Simulator sehr hilfreich, spart aber auch enorme Kosten, da die realen Maschinen nicht belegt werden müssen. Für unseren Kunden haben wir solch einen EUV-LDP-SOURCE-Simulator entwickelt.
Die LDP-Technologie basiert auf rotierenden zinnbeschichteten Elektroden, Triggerlasern und gepulsten elektrischen Entladungen zur Erzeugung eines EUV-emittierenden Plasmas mit einer Wiederholungsrate von bis zu 15 kHz.
Die von uns entwickelte EUV-LDP-Source ist in der Lage, die Prozesse mit ca. 90% Realitätsgrad abzubilden. Um diesen hohen Realitätsgrad zu erreichen, musste die resonante Aufladung mit eigens entwickelten Hardware-Schaltungen nachgebaut werden.
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