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Categories:: Konstruieren Programmieren Montieren Engineering Maschinenbau
Das Zinn-Zirkulations-System (Tin Handling Box) ist ein Kernmodul einer zinnbasierten LDP-Quelle (siehe hierzu auch die anderen Projekte zu EUV-LDP-Quellen). Vor dem ersten Einsatz eines solch komplexen Moduls oder nach einer Generalüberholung muss es in allen Betriebsphasen vom Aufheizen über den Betrieb bis hin zum Wiederabkühlen getestet werden. Wir haben einen solchen Prüfstand komplett konzipiert und bereits mehrfach gebaut.
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Categories:: Konstruieren Programmieren Montieren Maschinenbau
Um eine EUV-LDP-Quelle zu betreiben, müssen Medien und Prozesse in Echtzeit geregelt und gesteuert werden. Um die dafür eingesetzte Hard- und Software zu evaluieren, ist ein Simulator sehr hilfreich, spart aber auch enorme Kosten, da die realen Maschinen nicht belegt werden müssen. Für unseren Kunden haben wir solch einen EUV-LDP-SOURCE-Simulator entwickelt.
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